በ 5G ፣አርቴፊሻል ኢንተለጀንስ (AI) እና የነገሮች በይነመረብ (አይኦቲ) ፈጣን እድገት ፣ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ከፍተኛ አፈፃፀም ያላቸውን ቁሳቁሶች ፍላጎት በከፍተኛ ሁኔታ ጨምሯል።Zirconium tetrachloride (ZrCl₄)እንደ አስፈላጊ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ከፍተኛ-k ፊልሞችን በማዘጋጀት ረገድ ባለው ቁልፍ ሚና ምክንያት ለላቁ የሂደት ቺፖች (እንደ 3nm/2nm) የማይፈለግ ጥሬ ዕቃ ሆኗል።
Zirconium tetrachloride እና ከፍተኛ-ኪ ፊልሞች
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ, ከፍተኛ-k ፊልሞች የቺፕ አፈፃፀምን ለማሻሻል ቁልፍ ከሆኑ ቁሳቁሶች ውስጥ አንዱ ናቸው. በባህላዊው በሲሊኮን ላይ የተመሰረቱ የዲኤሌክትሪክ ቁሶች (እንደ ሲኦ₂ ያሉ) ያለማቋረጥ የመቀነሱ ሂደት፣ ውፍረታቸው ወደ አካላዊ ገደቡ እየተቃረበ፣ በዚህም ምክንያት የውሃ ፍሳሽ መጨመር እና የኃይል ፍጆታ ላይ ከፍተኛ ጭማሪ። ከፍተኛ-ኪ ቁሶች (እንደ ዚርኮኒየም ኦክሳይድ ፣ ሃፊኒየም ኦክሳይድ ፣ ወዘተ) የዲኤሌክትሪክ ንጣፍ አካላዊ ውፍረትን በጥሩ ሁኔታ ያሳድጋሉ ፣ የቶንሊንግ ተፅእኖን ይቀንሳሉ እና የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን መረጋጋት እና አፈፃፀም ያሻሽላሉ።
Zirconium tetrachloride ከፍተኛ-k ፊልሞችን ለማዘጋጀት አስፈላጊ ቅድመ ሁኔታ ነው. Zirconium tetrachloride እንደ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) ወይም የአቶሚክ ንብርብር ክምችት (ALD) ባሉ ሂደቶች አማካኝነት ወደ ከፍተኛ ንፅህና ወደ ዚሪኮኒየም ኦክሳይድ ፊልሞች ሊለወጥ ይችላል። እነዚህ ፊልሞች እጅግ በጣም ጥሩ የዲኤሌክትሪክ ባህሪያት አላቸው እና የቺፖችን አፈፃፀም እና የኢነርጂ ውጤታማነት በእጅጉ ሊያሻሽሉ ይችላሉ. ለምሳሌ ፣ TSMC በ 2nm ሂደት ውስጥ የተለያዩ አዳዲስ ቁሳቁሶችን እና የሂደቱን ማሻሻያዎችን አስተዋውቋል ፣ ይህም ከፍተኛ የዲኤሌክትሪክ ቋሚ ፊልሞችን መተግበርን ጨምሮ ፣ ይህም የትራንዚስተር ጥግግት መጨመር እና የኃይል ፍጆታን መቀነስ አስገኝቷል።
የአለምአቀፍ አቅርቦት ሰንሰለት ተለዋዋጭነት
በአለምአቀፍ ሴሚኮንዳክተር አቅርቦት ሰንሰለት, የአቅርቦት እና የምርት ንድፍzirconium tetrachlorideለኢንዱስትሪው ዕድገት ወሳኝ ናቸው። በአሁኑ ጊዜ እንደ ቻይና፣ ዩናይትድ ስቴትስ እና ጃፓን ያሉ ሀገራት እና ክልሎች ዚርኮኒየም tetrachloride እና ተዛማጅ ከፍተኛ የዲኤሌክትሪክ ቋሚ ቁሶችን በማምረት ረገድ ትልቅ ቦታ ይይዛሉ።
የቴክኖሎጂ ግኝቶች እና የወደፊት ተስፋዎች
የቴክኖሎጂ ግኝቶች በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የዚርኮኒየም tetrachloride አተገባበርን ለማስተዋወቅ ዋና ዋና ነገሮች ናቸው. በቅርብ ዓመታት ውስጥ የአቶሚክ ንብርብር ክምችት (ALD) ሂደት ማመቻቸት የምርምር ነጥብ ሆኗል. የ ALD ሂደት በ nanoscale ላይ ያለውን የፊልም ውፍረት እና ተመሳሳይነት በትክክል መቆጣጠር ይችላል, በዚህም ከፍተኛ የዲኤሌክትሪክ ቋሚ ፊልሞችን ጥራት ያሻሽላል. ለምሳሌ የፔኪንግ ዩኒቨርሲቲ የሊዩ ሌይ የምርምር ቡድን በእርጥብ ኬሚካላዊ ዘዴ ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ቋሚ ሞርፎስ ፊልም አዘጋጅቶ በተሳካ ሁኔታ ባለ ሁለት አቅጣጫዊ ሴሚኮንዳክተር ኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ላይ ተተግብሯል።
በተጨማሪም, ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ወደ ትናንሽ መጠኖች መሻሻላቸውን ሲቀጥሉ, የዚሪኮኒየም ቴትራክሎራይድ የትግበራ ወሰንም እየሰፋ ነው. ለምሳሌ፣ TSMC በ2025 ሁለተኛ አጋማሽ የ2nm ቴክኖሎጂን በብዛት ለማምረት አቅዷል፣ እና ሳምሰንግ የ2nm ሂደቱን ምርምር እና ልማት በንቃት እያስተዋወቀ ነው። የእነዚህ የተራቀቁ ሂደቶች መገንዘባቸው ከከፍተኛ ዲኤሌክትሪክ ቋሚ ፊልሞች ድጋፍ የማይነጣጠሉ ናቸው, እና ዚርኮኒየም tetrachloride, እንደ ቁልፍ ጥሬ እቃ, እራሱን የቻለ ጠቀሜታ አለው.
በማጠቃለያው ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የዚርኮኒየም ቴትራክሎራይድ ቁልፍ ሚና ከጊዜ ወደ ጊዜ እየጨመረ መጥቷል። የ 5G፣ AI እና የነገሮች በይነመረብ ታዋቂነት፣ ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው ቺፕስ ፍላጎት እየጨመረ ነው። Zirconium tetrachloride, ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ቋሚ ፊልሞች እንደ አስፈላጊ ቅድመ ሁኔታ, ለቀጣዩ ትውልድ ቺፕ ቴክኖሎጂ እድገትን በማስተዋወቅ የማይተካ ሚና ይጫወታል. ለወደፊቱ, የቴክኖሎጂው ቀጣይነት ያለው እድገት እና የአለምአቀፍ የአቅርቦት ሰንሰለት ማመቻቸት, የዚሪኮኒየም tetrachloride አተገባበር ሰፋ ያለ ይሆናል.
የልጥፍ ሰዓት፡- ኤፕሪል 14-2025